()是光刻工艺最重要的耗材，是一种通过特定光源照射下发生局部溶解度变化的光敏材料。|考算网题库

()是光刻工艺最重要的耗材，是一种通过特定光源照射下发生局部溶解度变化的光敏材料。

（A）光刻胶

（B）抛光液

（C）芯片

（D）晶片

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